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氦氮混气、氙氢混气、氧氦混气、氪氖混气、氩氙氖混气等

氦氮混气、氙氢混气、氧氦混气、氪氖混气、氩氙氖混气等

纯度规格：6N

用途：刻蚀、退火、光刻等

主要应用领域：集成电路（LOGIC/DRAM/3D NAND）、显示面板、光纤

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