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六氟化钨

化学式:WF6

纯度规格:6N

用途:沉积

主要应用领域:集成电路(LOGIC/DRAM/3D NAND)

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三氟化氮

化学式:NF3

纯度规格:5N

主要用途:清洗、刻蚀

主要应用领域:集成电路(LOGIC/DRAM/3D NAND)、 显示面板

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